半导体行业用高洁净O形圈

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品牌爱沃特玛铪

详细介绍

PM材料
颜色：棕色硬度(shore A):76 使用温度320℃
不含金属系填冲材、高纯度，优异耐热性，耐等离子性
用途：半导体，FPD制造工序的成膜装置/灰化装置等
半导体蚀刻/灰化干制程处理室内部部件优异耐热性高纯度
半导体成膜（绝缘膜）处理室密封优异耐热性高纯度
FM材料
颜色：白色硬度(shore A):74 使用温度220℃
优异耐等离子性，无碳、优异的机械属性
用途：半导体，FPD制作工序的蚀该装置
半导体蚀刻/灰化干制程等离子蚀该装置优异的耐等离子特性，耐机械特性
231B材料
颜色：黑色硬度(shore A):75 使用温度320℃
高温领域密封性能，寿命长，耐药性也优异（胺，蒸汽环境下要注意）
用途：所有需要有耐热性要求的部位
半导体氧化/扩散氧化扩散炉优异耐热性 Max320度
半导体电J/配线溅镀装置优异耐热性 Max 320度
251B材料
颜色：黑色硬度(shore A):75 使用温度300℃
优异的耐热性耐药性（耐温300度）
用途：所有需要有耐热，耐药品要求的部位
半导体蚀刻/灰化干制程舱盖密封优异耐热性和耐机械特性
半导体氧化/扩散曝G装置优异耐热性机械特性
半导体电J/配线金属CVD装置优异耐热性机械特性
252W材料
颜色：白色硬度(shore A):75 使用温度300℃
具有耐热性无碳（耐温300度）
用途：半导体，FPD制造工序的蚀该装置等
半导体蚀刻/灰化干制程入口阀优异耐热性耐等离子特性
PB-70材料
颜色：黑色硬度(shore A):75
具有广泛的耐药品性、优异的耐低温性
用途：所有要求耐药品性的部位

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